题名
激光微加工技术在集成电路制造中的应用
DOI
10.12721/ccn.2022.157220
作者
陆晓凯
作者单位
湖北久之洋红外系统股份有限公司，430223
摘要
随着科学技术的日新月异，激光技术具有纯熟的应用。激光微加工技术因效率高、无污染、精度高、热影响较小的特征在各行各业中获得广泛运用。本文通过集成电路制造，分析了激光微加工技术的应用，为激光微加工技术的未来发展提供保障。
关键词
激光微加工技术；集成电路制造；应用
刊名
电路系统研究
ISSN
3078-9702
年、卷(期)
202211
所属期刊栏目
工程技术
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