题名
半导体工艺控制设备在工业自动化中的应用与挑战
DOI
10.12721/ccn.2024.157384
作者
​邵煜尧
作者单位
摘要
半导体工艺控制设备是现代工业自动化的核心，在晶圆制造、芯片封装、测试和质量控制以及生产线管理中发挥关键作用。这些设备具有高精度、高自动化和严格洁净度要求的特点，能在纳米级别进行操作和控制。然而，高初始投资成本、快速技术更新、系统集成复杂性和人才需求等挑战也随之而来。
关键词
半导体工艺；工业自动化；晶圆制造
刊名
电路系统研究
ISSN
3078-9702
年、卷(期)
20244
所属期刊栏目
工程技术
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