题名
半导体设备维修中的故障诊断技术与策略研究
DOI
10.12721/ccn.2024.157393
作者
刘义
作者单位
有研半导体硅材料股份公司，北京市，100000
摘要
随着科学技术的不断进步，半导体设备在实际应用中发挥的作用越来越重要，这也促使我国对半导体设备维修工作提出了更高的要求。半导体设备在应用过程中，由于受到外部因素及自身原因的影响，极易出现故障，在这种情况下，需要及时采取有效措施进行故障诊断，并及时处理。为此，本文对半导体设备维修中的故障诊断技术与策略进行了研究，首先阐述了半导体设备维修中故障诊断技术的作用与原则，其次分析了半导体设备维修中的故障诊断技术和策略应用要点，希望能够为我国半导体设备维修工作提供借鉴和参考，推动我国科技水平不断提高。
关键词
故障诊断技术；半导体设备；半导体设备维修；策略
刊名
电路系统研究
ISSN
3078-9702
年、卷(期)
20245
所属期刊栏目
工程技术
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