题名
基于MEMS技术的高温压力传感器研究
DOI
10.12721/ccn.2024.157083
作者
秦磊
作者单位
南京高华科技股份有限公司，江苏南京，210000
摘要
在微机电系统领域中，耐高温的压力感测器扮演了极为关键的角色，能够在超过125℃的环境中保持性能稳定。该类型的传感器在航天、石化探寻及国防工程的多个场合都有着极为广泛的运用。研究人员致力于提升这些感测器能承受的工作温度，并力求消除温度偏差这一核心课题，因此常采用优化设计结构、筛选耐热材料、实施温度补偿等策略以增强传感器适应高温的能力，并已经取得了一系列成就。我国虽在耐高温MEMS压力感测器研究方面取得了若干成果，但与国际先进水平仍有可观差距。因此，系统全面地研究和发展能顺应高温工作环境的压力感测器显得尤为重要，这将为我国在高温应用场景中使用压力感测器打下坚实的基础。
关键词
基于MEMS技术；高温压力传感器；研究
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
20249
所属期刊栏目
数学与物理
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