题名
等离子体发生器制备纳米微粒
DOI
作者
​何蓉
作者单位
北京山川联合纳米科技有限公司，北京密云，101500
摘要
介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
关键词
化学气相法；等离子体发生器；温度；形态
刊名
纳米技术研究
ISSN
3078-9435
年、卷(期)
20186
所属期刊栏目
工程技术
打印