题名
基于电容位移传感器与金属球的三维定位方法与实验研究
DOI
作者
陶鑫1 袁道成1,2 李少博1
作者单位
1.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；2.西安交通大学机械工程学院
摘要
文中提出一种基于电容位移传感器测量金属球的非接触三维定位方法。通过理论与实验方法研究了定位精度的影响因素,发现定位精度与传感器的参数、金属球球径、传感器与金属球表面之间的距离等参数有关。通过优化参数设计实验,采用CSH02FL-CRm1,4电容式微位移传感器获得了小于2μm的x、y方向定位精度,小于0.1μm的z方向定位精度。
关键词
三维定位；非接触；电容位移传感器
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
20184
所属期刊栏目
数学与物理
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