题名
一种电容薄膜真空计检测电路的设计
DOI
作者
康恒1,2,3 李勇滔1,3 李超波1,3 景玉鹏1,3
作者单位
1.中国科学院微电子研究所；2.中国科学院大学；3.集成电路测试技术北京市重点实验室
摘要
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27%降低到0.662%。实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4%,电路稳定性较好。
关键词
电容薄膜真空计；电容检测；非线性；负反馈；补偿
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
20196
所属期刊栏目
数学与物理
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