题名
高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真
DOI
作者
李阳 曹民 胡秀娟
作者单位
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
摘要
针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力大小呈线性关系,输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸,材料与结构,找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系,借助数据分析得出最优的设计选择。
关键词
MEMS传感器；人工智能；数据分析；高灵敏度
刊名
数据与科学
ISSN
3078-9834
年、卷(期)
20182
所属期刊栏目
数学与物理
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