抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计

题名

DOI

作者

许高斌王超超杨海洋马渊明陈兴

作者单位

合肥工业大学电子科学与应用物理学院

摘要

针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要,设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计,通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计,同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模,添加力-电多物理场耦合等载荷进行静力、模态及动力等仿真分析,验证设计可行性,进一步确定结构参数,得出该结构压电式加速度计的本征频率、灵敏度及线性度仿真结果分别为29.8 kHz、0.2 m V/g和0.11%。

关键词

MEMS；抗过载；压电式加速度计；工业装备振动监控；L形梁

刊名

传感器研究

ISSN

3079-0042

年、卷(期)

20205

所属期刊栏目

数学与物理