题名
基于半导体工艺的设备调平技术
DOI
作者
蔡颖岚 邓学文 全晓辉 杨滨
作者单位
​重庆声光电有限公司
摘要
半导体工艺基本流程和要求,调平在各主要工艺中的必要性。调平分为调与测2个步骤,几种常用测平工具和方法和在工艺调平中的应用。
关键词
半导体工艺；调平；CCD；水平仪；千分表；准直仪
刊名
中国设备
ISSN
3079-0026
年、卷(期)
20184
所属期刊栏目
工程技术
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