题名
掩模台水平向的二维衍射平面光栅测量模型验证
DOI
作者
郝春晓1 张文涛1 王献英2 黄逊志2
作者单位
1.桂林电子科技大学电子工程与自动化学院；2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要
为了降低掩模台位置测量的位置误差，首先阐述了二维衍射平面光栅尺在掩模台上的布局与信号采集模块；然后运用两个二维衍射平面光栅尺建立掩模台位置测量模型；最后以双频激光干涉仪作为参考测量系统，对比两个测量系统的不确定度。实验证明:二维衍射平面光栅尺测量系统的不确定度比较低，可以有效地实现掩模台的三自由度位置超高精密测量。
关键词
平面光栅尺；模型；自由度；误差
刊名
中国仪器
ISSN
3079-0034
年、卷(期)
201910
所属期刊栏目
工程技术
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