题名
半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正
DOI
10.12721/ccn.2022.157043
作者
黄友林
作者单位
杭州帕兹电子有限公司，浙江杭州，310000
摘要
半导体器件生产中使用的真空测量仪表进行维修与校正是至关重要的。维修可以修复仪器的功能和性能，而校正可以确保测量结果的准确性和一致性。目前，针对真空测量仪表的维修与校正在实践中存在着许多挑战和需要解决的问题。本文主要分析半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正。
关键词
基坑支护装置；支护方法；土体塌方
刊名
中国仪器
ISSN
3079-0034
年、卷(期)
20225
所属期刊栏目
工程技术
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