题名
"自上而下"制作硅化镍纳米线
DOI
作者
罗强 岳双林 顾长志
作者单位
中国科学院物理研究所微加工实验室，北京，100080
摘要
提出了"自上而下"制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌.这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
关键词
硅化镍；纳米线；制备技术；自上而下
刊名
纳米技术研究
ISSN
3078-9435
年、卷(期)
20233
所属期刊栏目
工程技术
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