伴随着广泛使用的薄膜材料与微小零部件，需要高度重视检测测量微纳米表层力学性能。在实际检测材料力学性能期间，硬度是针对于材料力学性能评价的一种高效方法，并且操作简易。但是，伴随着减小的载荷或者是压痕深度，测量材料微纳米表层硬度的测量结果出现了增加的压痕尺寸效应问题，不仅如此，硬度评价方法选择的不同，所涉及着十分大的硬度差值情况，从而难以确保材料微纳米表层硬度值获取的准确性和真实性。基于此，笔者针对于压痕功的微纳米表层硬度检测技术进行了深入分析与探讨，以此为相关学者以及从业人员提供有价值的参考依据。
