半导体与医药洁净室机电系统质量控制实践研究分析 下载：139 浏览：1356

肖雄 《中国医学研究》 2024年5期

摘要: 半导体和医药行业对于洁净室的要求非常严格，机电系统在洁净室中扮演着重要角色。本文从洁净室机电系统的质量控制实践入手，分析了关键因素，提出了完善的质量控制措施。首先从洁净室环境与机电系统的相互关系出发，探讨了机电系统对洁净室质量的影响。其次，针对典型的机电系统，分析了其质量控制的重点和方法。最后给出了洁净室机电系统全面质量控制的实践建议。本文对提高半导体和医药制造业洁净室质量具有重要的理论和实践意义。