后硅器时代--纳米科学技术进展 下载：56 浏览：322

林鸿溢 《纳米技术研究》 2019年5期

摘要: 纳米科学技术在20世纪最后10年诞生并得到迅速发展.本文讨论和论述了新兴的纳米科学技术的进展,展望了包括纳米物理学、纳米电子学、量子功能器件、薄膜传感器、纳米材料、微机电系统、生物技术和原子工程等的应用前景,同时给出了某些实验结果