隔板塔技术用于硅烷生产工艺的研究 下载：176 浏览：1814

许红旭 《国际科技论坛》 2023年7期

摘要: 硅烷在现代高新技术中的应用越来越重要，主要是因为其性质，也因为现代高技术多晶硅、硅、非晶态硅、氮、硅、硅等的特殊需要，硅烷是由硅烷制成的，具有最高的纯度、最佳的控制能力(高达原子的大小)和最灵活的化学反应，这使得各种硅材料复杂而精细的结构以不同的需求为基础，是现代材料和设备所必需的基本条件， 具有各种特殊能力的硅已成为用于制造各种微电子膜的主要特殊气体，其中包括单晶膜、多晶膜、多晶硅、硅和金属硅微电子不断扩大:低温硬膜外、异构硬膜外不仅用于硅和集成电路，还用于半导体(砷化镓、碳化硅等)。 )在制备量子阱超晶态材料时，聚酯还被用于几乎所有的现代集成电路中，纯硅对需要更高质量硅的器件的性能和质量都有很大的影响。