纳米硅量子点的自组织形成及其量子效应 下载：43 浏览：368

高文秀 刘继伟 高鹏 郭先清 《纳米技术研究》 2019年4期

摘要: 用减压气相淀积法(LPCVD),在二氧化硅以及石英基板上自组织形成了高密度的(1011cm-2)纳米尺寸的半球状硅单晶粒(硅量子点),并进一步利用自组织生成的硅量子形成具有悬浮栅极的MOS单元,验证了硅量子点的量子效应。