纳米晶粒受控生长抑制PZNT铁电薄膜中异相形成
1.浙江大学材料与化工学院，浙江杭州，300200；2.嘉兴学院先进材料研究所，浙江嘉兴，3140017；3.云南昆明物理研究所，云南昆明，6502237；4.浙江大学材料与化工学院，浙江杭州，300200
摘要: 在LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)衬底以及SrTiO3(001)/PZT(001)种膜上用液相外延方法生长了PZNT薄膜.生长结果表明:在LaAlO3(001)基片PZNT晶粒以三维岛状自发生长,薄膜中有大量的焦绿石异相;在MgO(001)和SrTiO3(001)衬底上,为三维岛状异质外延生长,薄膜中焦绿石异相几乎消失;引入[001]取向的PZT种膜后,岛状三维生长变为二维生长,显著改善了外延膜的质量,获得了完整的PZNT膜.分析了衬底取向对紧邻层纳米尺寸范围的晶粒形成、薄膜晶粒的发育、克服薄膜中异相形成等的影响,总结了获得完整PZNT薄膜的生长条件
关键词:
铁电薄膜；晶粒；种膜；液相外延；
铁电薄膜；晶粒；种膜；液相外延
