纳机电系统研究进展
1.西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室，陕西西安，710072；2.西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室，陕西西安，710072；3.西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室，陕西西安，710072
摘要: 综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势。
关键词:
纳机电系统；纳米技术；航空航天；
纳机电系统；纳米技术；航空航天
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