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后硅器时代--纳米科学技术进展

林鸿溢

北京理工大学电子工程系，北京，100081

摘要: 纳米科学技术在20世纪最后10年诞生并得到迅速发展.本文讨论和论述了新兴的纳米科学技术的进展,展望了包括纳米物理学、纳米电子学、量子功能器件、薄膜传感器、纳米材料、微机电系统、生物技术和原子工程等的应用前景,同时给出了某些实验结果
关键词: 纳米；科学技术；纳米材料；纳米电子学；
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