摘要: 本文基于浊度90°散射检测原理，设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源，以LED前端透镜结构替代原传感器所需光源准直结构，降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定性；采用灵敏度高、噪声低、体积小的硅光电倍增管作为光敏探测元件；配合所设计的后端微弱信号采集、处理电路对浊度信号进行准确采集。经检测，传感器的在0-1NTU范围内线性度达0.999,检测限低至0.01NTU,实现在线式浊度检测传感器具备超低量程的同时，具有小型化、易集成的特点，可应用于浊度指标的微量在线监测。