本文提出一种在谐振腔内产生高质量圆对称艾里光束的方法，通过使用针对特定参数光束设计的衍射光学元件替代反射腔镜，可在腔内获得所需的特定参数光束.研究结果表明，该方法产生的圆对称艾里光束的参数可控；模式能量损耗低，接近高斯基模光束；光束质量高，明显优于目前常用的傅里叶空间纯相位全息编码法.接着，讨论了组装系统时产生的腔长误差和同轴度误差，以及加工衍射元件时产生的刻蚀误差对产生光束的影响.结果表明，现有的机械调节技术和微纳加工技术，完全能满足系统误差的精度要求，显示该方法对误差有较好的容差性.