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基于金刚石色心自旋磁共振效应的微位移测量方法 下载：48 浏览：342

王磊1，2 郭浩1，2 陈宇雷1，2 伍大锦1，2 赵锐2 刘文耀1，2 李春明1，2 夏美晶1，2 赵彬彬1，2 朱强1，2 唐军1，2 刘俊1，2 《现代物理学报》 2019年4期

摘要:
基于压电陶瓷精密微位移系统的扫描探测技术是目前精密测量仪器进行微纳区域/结构性能测试的核心系统，但压电陶瓷材料存在迟滞、非线性问题，限制了对微位移分辨能力的提升.本文以金刚石氮空位色心为敏感单元，利用电子自旋效应对磁场强度的高分辨敏感机理，结合永磁体周围不同位置对应的磁场强度变化关系，提出了一种基于金刚石氮空位色心电子自旋敏感机理的微位移检测方法.通过建立电子自旋效应与微位移的关联模型，搭建了相应的微位移测量系统.经实验验证，该系统对微位移测试的灵敏度为16.67 V/mm，检测分辨率达到60 nm，实现了对微位移的高分辨率测量.并通过理论分析，该系统的微位移测量分辨率可进一步提升至亚纳米级水平，为新型微位移测量技术提供了发展方向和研究思路.

基于CMUT的超声波信号检测及放大电路设计 下载：10 浏览：411

张泽芳 任勇峰 何常德 《传感器研究》 2020年4期

摘要:
超声波信号检测及放大是搭建水下超声系统的基础,当微型电容式超声换能器(CMUT)处于接收状态时,电容值变化量为pF级,这对信号检测与放大电路设计提出了很高的要求。在进行了CMUT工作原理分析、C-V特性测试、电荷放大原理理论分析、仿真及实验后,所设计的电路灵敏度可达到2.5 V/pF,该电路性能优良,可集成度高,可推动CMUT的广泛应用。

基于多孔PDMS薄膜介电层的柔性压力传感器 下载：20 浏览：403

李玲1 岳凤英1 乔霖2 申恒瑞1 索艳春3 《传感器研究》 2019年8期

摘要:
提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷（PDMS）以一定比例均匀混合,随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料,PET为柔性基底,多孔弹性体薄膜为介电层,将两电极面对面层压封装,得到电容式柔性压力传感器。由于均匀孔结构的存在,薄膜介电层在压力作用下能发生较大形变。研究结果表明,基于多孔薄膜介电层的压力传感器的灵度为0.58 kPa-1,具有良好的稳定性和重复性;传感器阵列能够准确地检测表面压力分布。制作的柔性压力传感器具有高灵敏度、低成本的特点,可用于人机交互界面、电子皮肤传感和细微压力变化监控等方面。

CC-Link总线技术在液晶屏清洗系统中的应用 下载：10 浏览：413

裴一飞1 张志杰1,2 贺海亮3 宋世光4 李岩峰1,2 《传感器研究》 2018年10期

摘要:
液晶屏(LCD)生产现场环境恶劣复杂,针对超声波干式清洗机各项工艺参数和数据传输的稳定性、实时性要求以及调度过程的集中控制问题,提出采用开放型CC-Link(control&communicationLink)总线技术,通过专用的QJ61BT11N通信模块和专用电缆将分散的I/O模块、特殊功能模块等连接起来,在PLC的CPU模块控制下,实现了对触摸屏、伺服系统、智能仪器仪表等远程设备站的控制、通信和对现场数据的实时监控、管理。结果表明:超声波干式清洗机应用CC-Link总线技术可节省大量控制电缆,具有高速通信、实时性好的特点,提高了清洗机在屏清洗工艺段运行的稳定性、安全性和数据传输的可靠性。

梳齿型深硅刻蚀工艺研究 下载：22 浏览：412

张旭1,2 张迪雅1,2 《传感器研究》 2018年8期

摘要:
为实现Faims气体传感器梳齿型离子迁移区的设计,文中采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行大深宽比梳齿型结构的深硅刻蚀。影响刻蚀的工艺参数主要包括RF功率、腔室压力、气体流量等,通过调节刻蚀气体SF6流量、腔室压力等参数进行试验,分析工艺参数对刻蚀速率、表面形貌和侧壁垂直度的影响,选出最优工艺参数。根据选出的最优工艺参数,刻蚀出了侧壁光滑、垂直度为90°的梳齿型迁移区。

内凹阶梯型反射式光纤传感器探头的设计 下载：12 浏览：412

郎国伟1,2 杨瑞峰1,2 郭晨霞1,2 张鹏1,2 胡晨昊1,2 盖婷1,2 《传感器研究》 2018年8期

摘要:
设计了一种新型的内凹阶梯型反射式光纤传感器探头。基于出射端光场分布模型,建立输出调制特性的数学模型,结合影响传感器特性的主要参数,对两根接收光纤与发送光纤端面之间的错位量a、b进行了仿真计算和分析,得出了系统的优化设计参数。最后与平面型探头进行对比分析,该探头不仅具有良好的光学补偿作用,而且扩大了量程,提高了测量的灵敏度。
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