土壤是农业生产的载体和生态环境的重要组成部分，重金属污染危害严重。因此，研究有效测定土壤中重金属含量的定量分析技术势在必行。ICP-MS能够有效应用于土壤中重金属含量的定量检测，但其测定常受到基体元素或光谱干扰的干扰。本研究采用内标法解决了这一问题。选用四种土壤成分分析标准物质分别为GBW07385、GBW07388、GBW07391、GBW07979，采用微波消解-混酸法进行土壤前处理，采用电感耦合等离子体质谱法定量检测土样中Cu、Pb、Zn、Cr、Co、Ni的含量，内标浓度为10ug/L，通过与标准值对比、方法对比（标准加入法与内标法扫描同一配制溶液）和回收率检验，验证了所建立的方法的有效性。内标法测定结果与标准值和标准加入法测定数据吻合较好。在5、20、50mg/kg三个水平下，加标法和内标法定量，回收率在92～102%范围内，RSD＜5.3%，得到了质量控制图（n=100），用于指导实验室内质量控制。