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等离子体发生器制备纳米微粒 下载:85 浏览:487

​何蓉 《纳米技术研究》 2018年6期

摘要:
介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
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