热压印刻蚀技术 下载：84 浏览：481

​章国明 邵会波 《纳米技术研究》 2021年2期

摘要: 纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术.它既继承了传统光刻技术所具有的并行性,又同时拥有传统光刻技术不易达到的纳米结构制备能力,这为今后纳米结构的广泛应用提供了良好的条件.文章介绍了纳米热压印技术中核心工艺流程,包括:模板的制备、抗粘层的制备、压印过程中温度与压力的影响、反应离子刻蚀,并且给出了利用纳米热压印技术制备的光栅结构,最后展望了纳米压印技术的前景。