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基于半导体工艺的设备调平技术 下载：88 浏览：500

蔡颖岚 邓学文 全晓辉 杨滨 《中国设备》 2018年4期

摘要:
半导体工艺基本流程和要求,调平在各主要工艺中的必要性。调平分为调与测2个步骤,几种常用测平工具和方法和在工艺调平中的应用。
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