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光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究 下载：57 浏览：365

汪杰君1 王剑峰1 张志钢2 《中国仪器》 2019年8期

摘要:
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析，然后利用微动台的运动力学合成分解关系，进行六自由度解耦求解，最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明，微动台各轴之间的串扰都有所降低，工件台的运动性能得到了提升。

车载TFT LCD器件高温信赖性串扰机理及改善研究 下载：67 浏览：499

苏磊 杨小飞 李兴华 刘旭 牟勋 孟佳 《光电子进展》 2019年4期

摘要:
研究了车载液晶显示器可靠性试验中高温串扰的相关影响因子,通过实验发现TFT沟道N+台阶越大,高温串扰表现越差,通过增加工艺中灰化时间可以改善沟道台阶问题。同时栅极绝缘层的厚度也会对可靠性评价中的高温串扰产生影响。并且通过DOE实验确定可靠性串扰的显著影响因子为沟道N+台阶和栅绝缘层厚度。

信号完整性优化设计在高速电路传输线路中的应用研究 下载：46 浏览：890

张宇 白岩松 刘杰 张鹏欣 焦纬东 《信号处理与图像分析》 2024年4期

摘要:
随着信息技术的迅猛发展，高速电路设计在现代通讯、计算及消费电子产品中扮演着至关重要的角色。其中，信号完整性（SignalIntegrity,SI）成为衡量高速电路性能的关键指标之一。本文深入探讨了信号完整性优化设计在高速电路传输线路中的应用，旨在通过系统分析与创新设计手段减少信号在传输过程中的衰减、串扰、反射和辐射等负面影响，提高信号传输效率和可靠性。
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