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光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究 下载：57 浏览：349

汪杰君1 王剑峰1 张志钢2 《中国仪器》 2019年8期

摘要:
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析，然后利用微动台的运动力学合成分解关系，进行六自由度解耦求解，最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明，微动台各轴之间的串扰都有所降低，工件台的运动性能得到了提升。

基于传递函数法的带外挂大柔性机翼颤振分析 下载：79 浏览：426

张忠源1 段静波2 路平1 王龙3 《动力技术研究》 2019年7期

摘要:
基于带外挂大柔性机翼结构和气动特点,使用带有半解析半数值特性的传递函数方法进行处理.首先,将变形后的柔性机翼视为曲梁,基于曲梁的运动微分方程,结合传递函数方法,将曲梁运动微分方程整理成状态空间方程形式.然后,借鉴有限元方法的思想将单元进行组集,组集时结合机翼挂载处内力平衡和位移协调条件,得到了机翼整体平衡方程,结合求解复特征值的方法,完成了带外挂大展弦比大柔性机翼的动气动弹性稳定性分析.对比通过有限元方法得到的仿真结果,证实了文章提出计算方法的准确性和高效性.文章结尾,分析了外挂质量、转动惯量、位置分布及数量等变量对带外挂大展弦比大柔性机翼的动气动弹性稳定性的影响.
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