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谐振腔内的高质量圆对称艾里光束的产生方法 下载：62 浏览：455

朱一帆 耿滔 《现代物理学报》 2020年1期

摘要:
本文提出一种在谐振腔内产生高质量圆对称艾里光束的方法，通过使用针对特定参数光束设计的衍射光学元件替代反射腔镜，可在腔内获得所需的特定参数光束.研究结果表明，该方法产生的圆对称艾里光束的参数可控；模式能量损耗低，接近高斯基模光束；光束质量高，明显优于目前常用的傅里叶空间纯相位全息编码法.接着，讨论了组装系统时产生的腔长误差和同轴度误差，以及加工衍射元件时产生的刻蚀误差对产生光束的影响.结果表明，现有的机械调节技术和微纳加工技术，完全能满足系统误差的精度要求，显示该方法对误差有较好的容差性.

光学元件波前畸变对驱动器光路设计的影响 下载：51 浏览：442

徐林波1，2 卢兴强1 雷泽民1，2 《现代物理学报》 2018年12期

摘要:
高功率激光驱动器光路设计要考虑像传递、鬼像规避和杂散光管理等多项优化措施.基于衍射光学传播理论，从输出负载能力提升的角度研究大口径光学元件波前特性对驱动器光路设计参数优化的影响.研究表明，驱动器末级光路的排布间隔如果控制在6 m以上，将非常有助于提高激光驱动器的输出负载能力.一般情况下，波前峰谷值达到0.34λ的单块大口径光学元件能使高功率激光的近场光束质量最大下降约10%，达到1.36λ后最大下降约21%；波前分布特性不同的多片大口径光学元件的波前相消叠加有利于降低中频波前部分对装置负载能力的影响，但是，大口径光学元件的非线性效应会加重中频波前对装置输出负载能力的影响；在限定大口径元件损伤阈值20J/cm2的前提下，光路排布紧凑的激光驱动器末级输入激光通量控制在16.8J/cm2之下不易损伤光学元件.相对宽松的光路设计可以进一步提高末级输出激光的平均通量水平，非常有利于激光驱动器装置输出负载能力的提升.

DOE二阶量化优化算法 下载：58 浏览：441

刘欣1 吕国强2 李军军2 冯奇斌3 《光电子进展》 2019年1期

摘要:
分析了二阶量化产生的误差,提出了一种基于模拟退火算法的优化算法,对二阶量化的相位数据进行优化,改善其输出光场,减小二阶量化带来的误差。仿真结果表明:优化过后DOE输出光场的不均匀性由41.92%降至23.18%,误差函数由28.74%降至20.47%,可见提出的算法在减小DOE二阶量化误差方面具有一定的应用价值。

半导体激光加工中光学元件吸热对设备聚焦位置的影响 下载：153 浏览：2610

王小强 黄波 《光电子进展》 2024年7期

摘要:
半导体材料的激光加工一直是半导体行业研究的热点,紫外激光加工的硅、SOI、碳化硅、石英、蓝宝石等半导体材料在半导体行业广泛应用。紫外激光精细加工技术由于其优点,在电子工业、微流控芯片加工、宽带材料切割、薄层生长、光学元件、半导体材料加工等方面具有无遮罩、波长短、脉冲宽度窄、重复频率高、脉冲能量高、射线质量优良、聚焦最小、热处理面积小等优点,具有良好的应用前景。紫外激光精细加工系统可以将20W的单模激光辐射传输到要切割、穿孔或标记的表面,但用于聚焦光束的光学元件也几乎完全透明,而这些光学元件的热吸收也降低了激光系统聚焦光束的能力。
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