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光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究 下载：57 浏览：349

汪杰君1 王剑峰1 张志钢2 《中国仪器》 2019年8期

摘要:
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析，然后利用微动台的运动力学合成分解关系，进行六自由度解耦求解，最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明，微动台各轴之间的串扰都有所降低，工件台的运动性能得到了提升。

晶面偏角对利用Voigt函数法计算硅单晶本征晶格应变的影响 下载：64 浏览：387

朱杰 姬梦 马爽 《现代物理学报》 2019年1期

摘要:
研究并制备了不同晶面偏角的Si(111)单晶，经过研磨和抛光使表面粗糙度低至3.4?达到超光滑水平，消除了表面和亚表面损伤层以及其所产生的应力变化.利用高精度X射线衍射仪分别测定了在不同晶面偏角条件下衍射曲线的半高全宽和积分宽度.应用Voigt函数法分析计算了微观应变，通过理论计算和实验对比可知，Si(111)单晶在晶面偏角达到0.749o时，偏角本身所带来的衍射峰半高全宽变化使计算出的应变值误差大于5%.研究结果为其他晶体类似研究提供了重要参考.

一种基于时测函数法的水表设计 下载：70 浏览：429

王甲1 唐振宁1 李婉婷2 《电路系统研究》 2018年10期

摘要:
在智能水表的设计中,在特定的计数位置加装采样用干簧管,把机械数值转化为电子信号,这是目前智能水表常用的方法。但是这种方法在实际应用中,存在着漏计数的弊端。因此为解决这种计量方式的不足,设计了一种基于时间测量函数法的水表方案,既解决了上述计量的问题,又提高了水表计量的准确性,为水表的智能化推广,提供了更好的技术保障。

基于传递函数法的带外挂大柔性机翼颤振分析 下载：79 浏览：426

张忠源1 段静波2 路平1 王龙3 《动力技术研究》 2019年7期

摘要:
基于带外挂大柔性机翼结构和气动特点,使用带有半解析半数值特性的传递函数方法进行处理.首先,将变形后的柔性机翼视为曲梁,基于曲梁的运动微分方程,结合传递函数方法,将曲梁运动微分方程整理成状态空间方程形式.然后,借鉴有限元方法的思想将单元进行组集,组集时结合机翼挂载处内力平衡和位移协调条件,得到了机翼整体平衡方程,结合求解复特征值的方法,完成了带外挂大展弦比大柔性机翼的动气动弹性稳定性分析.对比通过有限元方法得到的仿真结果,证实了文章提出计算方法的准确性和高效性.文章结尾,分析了外挂质量、转动惯量、位置分布及数量等变量对带外挂大展弦比大柔性机翼的动气动弹性稳定性的影响.

基于隶属函数法的辣椒苗期耐冷性综合评价 下载：91 浏览：525

​张婷 郭勤卫 刘慧琴 李朝森 章心惠 崔文浩 项小敏 赵东风 《农业学报》 2020年4期

摘要:
为了综合评价辣椒苗期的耐冷性,筛选耐低温的辣椒材料。利用5℃的低温对11份辣椒材料(品种)进行苗期耐低温性的研究,通过分析可溶性蛋白含量、MDA含量、SOD酶活性、POD酶活性、膜透性和SPAD值以及冷害指数等7个指标的变化,采用主成分分析法、指标相关性分析法及隶属函数法等进行辣椒苗期的耐低温性综合评价。结果表明:低温胁迫后,与对照相比,MDA含量、可溶性蛋白含量、膜透性有不同程度的升高,SOD酶性、POD酶活性增强,SPAD值降低;低温处理后11个辣椒材料的耐低温排序为:Y801>衢椒3号>05B03>L19-1-1-1-1>B1-2>金5-8>B15-4-6>L11-2-1-1>L11-3-2-1-1>玉龙椒>05B11;指标相关性研究表明,冷害指数与综合值D值呈显著负相关,相关系数为-0.661,说明冷害指数可作为辣椒苗期耐低温材料筛选的可靠参考指标。
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