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半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正 下载：194 浏览：1999

黄友林 《中国仪器》 2022年5期

摘要:
半导体器件生产中使用的真空测量仪表进行维修与校正是至关重要的。维修可以修复仪器的功能和性能，而校正可以确保测量结果的准确性和一致性。目前，针对真空测量仪表的维修与校正在实践中存在着许多挑战和需要解决的问题。本文主要分析半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正。
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