基于大数据分析的半导体工艺的良率提升研究 下载：76 浏览：1328

刘文平 《中国科学研究》 2023年10期

摘要: 在时代不断进步的过程中，大数据在人们的生活与生产领域得以深入应用。大数据分析在半导体工艺中的应用，为半导体工艺优化、良率提升等都产生了十分积极的影响。为提高半导体工艺良率，本文从封测良率分析入手，围绕大数据分析在其中的应用研究探究，以供参考。