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高过载MEMS环形陀螺制造与测试 下载:14 浏览:413

张英杰1,2 康强3 曹慧亮1,2 石云波1,2 刘俊1,2 《传感器研究》 2020年7期

摘要:
提出了一种新型的抗高过载环形振动式陀螺,分析了其工作原理和振动特性。在ANSYS有限元分析软件中建立了该环形陀螺结构的模型,进行了振动特性分析,仿真分析结果显示该环形陀螺工作模态与干扰模态最小频差Δf2=248 Hz,驱动和敏感模态频率Δf1=5 Hz。并且根据冲击动力学原理分析了此结构在半周期正弦加速度冲击载荷作用下的冲击响应,谐振结构最大位移为14.142μm,结构所受的最大的应力为68.396 MPa,可以正常稳定工作。通过基于SOG(Silicon on Glass)的微加工工艺制造了陀螺样机并完成了初步的测试,模态测试与有限元仿真结果中的模态频率最大误差是4.9%。实验室过载测试结果显示陀螺在15 800 g过载下,陀螺工作频率和频差未发生大的变化。

封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响 下载:15 浏览:423

焦静静1 石云波1 赵永祺1 张婕1 米振国1 康强2 《传感器研究》 2020年5期

摘要:
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验,验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度,有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力,提高传感器的灵敏度的结论。

淘洗磁选机在SINO铁矿的实验室扩大连选试验和工业试验 下载:41 浏览:200

王虎 《矿山工程与技术》 2018年7期

摘要:
SINO铁矿委托试验单位进行了放粗自磨球磨产品粒度、淘洗预先提精的扩大连选试验,在给矿粒度P80=53μm、给矿品位57%60%时,淘洗精矿品位可达到68%以上,淘洗作业精矿产率可达60%以上。为验证实验室试验结果在工业生产中的可靠性,又在生产现场进行了工业试验,在相同给矿条件下,工业试验可获得品位65%的铁精矿。

化焦剂处理侧吹冶金炉结焦工业试验 下载:121 浏览:1547

吕新宁 《冶金技术》 2023年12期

摘要:
本文主要介绍了在侧吹炉使用化焦剂后对挡灰板及后壁水套所产生的积极影响,阐述了结焦的原因以及以往的处理方式,通过使用化焦剂除焦工业试验为今后生产提供了保障。

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