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塔式熔盐吸热器结构设计、计算及工艺制造特点简析 下载：79 浏览：474

丁路 奚正稳 何杰 臧平伟 孙登科 《中国电气工程》 2019年5期

摘要:
塔式熔盐吸热器作为光热发电站最主要的核心设备之一,工作环境极其恶劣,其运行可靠性及性能优劣性对整个电站的安全与经济性有重要影响。本文详细介绍了东方锅炉自主研发的大容量熔盐吸热器的结构特点,并通过详细的性能计算,分析了熔盐吸热器在高热流密度太阳光辐射下的壁温分布与热效率情况。在保证吸热器安全运行的前提下,依据阻力计算结果对吸热器进行结构调整与优化设计,最后,阐述了熔盐吸热器加工制造过程中的工艺难点和注意要点。

薄膜工艺制造误差对电路性能的影响 下载：86 浏览：468

贾世旺1 梁广华1 刘巍巍1 邢伯仑2 《无线电研究》 2018年6期

摘要:
薄膜工艺具有加工高精度图形的能力,广泛应用于微波毫米波电路中。在设计薄膜滤波器等无源电路时,为了降低分析、计算难度,常采用理想模型,未考虑工艺制造误差及材料特性等影响,造成了实测值与计算结果有一定偏差。为了提高薄膜电路设计的准确性,对设备、人员相对稳定的薄膜工艺线各主要工序制造误差进行分析,通过大量实测数据,统计出了该工艺线制造误差范围,常规线宽偏差±4.5μm以内,关键线宽可控制在±2.0μm以内,线条厚度误差±20%以内。根据工艺制造能力,构建电路的三维多参数仿真模型,与理想模型进行对照,给出了薄膜工艺制造误差对滤波器电性能的影响,为今后准确设计滤波器等无源电路提供了有力的指导。应用结果表明,多参数模型与实测结果更为接近。
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