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高应力下悬浮石墨烯薄膜灵敏性的仿真研究 下载：12 浏览：394

张梦 张晓平 吕根根 刘泉声 《传感器研究》 2020年12期

摘要:
为了利用石墨烯材料对高应力进行测量,优化石墨烯压力传感器的结构设计,采用有限元软件COMSOL对高应力作用下的石墨烯压力薄膜进行模拟分析,在验证软件计算结果可靠性的基础上,研究同面积条件下圆形、矩形和正方形的石墨烯薄膜在均布高应力作用下的受力与变形,得出矩形薄膜对应力最敏感,且薄膜的面积越大,其应力和应变也越大。对矩形薄膜的长宽比对其受力特性的影响分析表明,当矩形薄膜的长宽比大于1.6后,薄膜应力导致的应变变化较小。
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