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保护层对背沟道刻蚀型金属氧化物IGZO TFT性能的研究 下载：30 浏览：226

陶家顺1，2 刘翔1，2 《光电子进展》 2020年6期

摘要:
研究了保护层对背沟道刻蚀型IGZO TFT性能及其稳定性的影响。结果显示,在正电压应力下TFT的阈值电压正向漂移。通过数据分析得知,保护层对水汽的阻挡能力直接影响到IGZO TFT的性能和稳定性。通过优化TFT的保护层,可以有效阻挡水汽渗透到背沟道表面形成缺陷态,提升IGZO TFT器件的稳定性。

TFT-LCD中无机非金属膜层干涉效应对显示画质效果的改善研究 下载：39 浏览：332

储周硕 贾强 薛彦鹏 李广圣 关月 《光电子进展》 2020年4期

摘要:
研究了Oxide TFT的无机非金属层光学特性对画质的影响,通过光学模拟和工艺变更实验验证了TFT膜层间的不同搭配显示效果以及不同视角下TFT色坐标的分布情况。实验证明了在TFT架构不变的情况下,白画面色偏主要受SiNx和SiO2膜层厚度影响,这是由于在某一膜厚下,RGB三色光的波长不同,可能会分别产生相干叠加或者相干减小,使得RGB的亮度比发生变化,从而改变白点的色度。此实验论证为业内研究解决色偏不良提供相关依据,也为企业提供了验证经验。
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