文章-世纪中文出版社

查看投稿进度

学术期刊

最新录用

刘佳--文章已录用《现代教育教学研究》2025-06-12

赖颖慧--文章已录用《中国医学研究》2025-06-12

李一博--文章已录用《当代艺术》2025-06-12

赵岚--文章已录用《中医研究杂志》2025-06-12

王红玉--文章已录用《中国中医药》2025-06-12

朱泳--文章已录用《中国机械研究》2025-06-12

刘佳微--文章已录用《中国职业教育》2025-06-12

顾毅--文章已录用《护理研究杂志》2025-06-12

卢世坤--文章已录用《可持续发展与创新》2025-06-11

李鸣--文章已录用《管理与科学》2025-06-11

李慧--文章已录用《医学研究杂志》2025-06-11

李慧--文章已录用《预防医学杂志》2025-06-11

王斌、袁喆--文章已录用《课程教育研究》2025-06-11

蒋艳玲、刘敏--文章已录用《护理研究杂志》2025-06-11

景博--文章已录用《气候变化研究》2025-06-11

孙瑞珈--文章已录用《水资源研究进展》2025-06-11

王飞--文章已录用《工程与技术研究》2025-06-11

赵博--文章已录用《课程教育研究》2025-06-11

陈志伟--文章已录用《建筑技术学报》2025-06-10

李宁--文章已录用《当代中文学刊》2025-06-10

首页 > 期刊 > 文章

Si芯片表面纳米粒子的粘结力及其干法清除下载：91 浏览：524

戴剑锋1 王青1 李维学1 李杨1 Henry I.Smith2 《纳米技术研究》 2023年3期

摘要:

系统地研究了纳米粒子在硅芯片表面的各种附着力,如范德瓦耳斯力、塑性形变吸附力、毛细现象凝聚力、静电力和重力附加力,以及高速流体对它的拖动力和提拉力,并简单计算了在各种情况下这些力的大小.介绍了干法清除纳米污染物的几种新方法,如超临界流体清除法、高速气凝胶清除法、激光清除法、气相化学清除法和光化学清除法。

[1/1]

版权所有 © 2025 世纪中文出版社京ICP备2024086036号-2