随着科学技术的不断进步，半导体设备在实际应用中发挥的作用越来越重要，这也促使我国对半导体设备维修工作提出了更高的要求。半导体设备在应用过程中，由于受到外部因素及自身原因的影响，极易出现故障，在这种情况下，需要及时采取有效措施进行故障诊断，并及时处理。为此，本文对半导体设备维修中的故障诊断技术与策略进行了研究，首先阐述了半导体设备维修中故障诊断技术的作用与原则，其次分析了半导体设备维修中的故障诊断技术和策略应用要点，希望能够为我国半导体设备维修工作提供借鉴和参考，推动我国科技水平不断提高。