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板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究 下载：82 浏览：497

张晓朋 李翠双 刘海金 闫兰 赵培 《光电子进展》 2018年2期

摘要:
研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例,讨论了产生颜色差异的原因,并提出了解决颜色差异、优化颜色及镀膜均匀性的方案。在此基础上,对板式PECVD镀膜设备进行了有针对性的调整,改善了镀膜的均匀性,使颜色的一致性得到优化。
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