综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势。

扬声器是感知声信号的传感器,其中膜是直接接收声信号并将其转换为电信号或其他信号的核心设备。膜的声压灵敏度直接影响传声器的灵敏度。因此,为了开发高灵敏度的传声器,首先需要开发声压敏感性。关于膜测试声压敏感性的研究方法较少。目前,实验室使用激光振动测量设备来测试膜在特定频率下的中心位移。该工艺中使用的设备价格昂贵,对振动薄膜的尺寸要求不低于1mm的等效直径,这限制了可以测试的振动薄膜的类型。本文提出了一种基于Fabry-Perot(F-P)干涉光纤测量仪的膜灵敏度测试方法,该方法在测量传声器灵敏度时可以获得膜的声压灵敏度,方法简单,降低了对膜片尺寸的要求,膜片尺寸大于几十微米。

煤矿通风与机电系统都是维持矿井安全运行的重要组成部分，将二者进行协调运转可以有效提升系统运转效率与运行质量，并为矿井生产提供更安全的环境。因此，本文先对煤矿通风系统的重要性展开论述，并阐明通风系统与机电系统协调运转的优势，然后再结合当前煤矿生产工作需要和安全生产标准提出几点有效的协调运转策略，为通风与机电系统的协调运转提供可靠保障，进而提升煤矿企业的生产效益与安全保障。

在煤炭企业的实际生产过程中应用节能技术，能够为该企业带来良好的经济效益以及生态效益，并能够使得企业自身的市场竞争能力得到进一步的提升。但是在实际的机电节能设计过程中还需要考虑到生产的安全性、可操作性等诸多问题，因此就要求煤矿企业能够积极与生产厂家进行技术交流，并根据自身的实际生产需求，来进行新型节能设备的研制工作，从而满足煤矿企业的实际生产需求。

航空机电系统综合技术是当前我国航空领域研究的主要课题，基于此本文以此为研究对象对其进行系统性研究。前期主要对机电系统综合技术的概念进行阐述，后续结合控制领域综合内容到系统综合内容的演变方式进行分析，此过程需要明确技术具体情况，才可保证最终提出的机电系统综合技术可以成为航空机电组织的关键技术，针对关键技术有效控制航空机电系统的发展，促进综合技术的研究，最终明确主体研究方向。

对飞机机电系统机载设备实施PHM技术研究对提升飞机可靠性，降低保障费用具有重要意义，已成为必然趋势。本文剖析了机电系统常见的故障模式，基于故障预测与健康管理技术，对机电系统健康管理技术进行了研究，并结合当前PHM技术的发展状况，预测未来飞机机电系统的健康管理模式。

煤矿作为重要的能源产业，机电系统的安全运行对于保障生产安全和社会稳定至关重要。然而，由于煤矿机电设备的特殊性和较为恶劣的工作环境，安全隐患和事故频发。因此，研究和应用安全监控与预警技术成为确保煤矿机电系统安全的关键。本文将深入探讨煤矿机电系统中的安全监控与预警技术，旨在提高煤矿的安全生产水平，减少事故发生的风险。

船舶机电系统是船舶的重要组成部分，在船舶航行过程中起到非常重要的作用。伴随着经济社会的发展，航运事业也得到了不断发展，为了满足人们日益增长的物质文化需求，航运事业在不断的向高科技、自动化方向发展。船舶机电系统在运行过程中容易发生各种故障问题，不仅影响到船舶航行的安全，还会对航运事业造成巨大损失。因此，为了更好地保障船舶航行安全，需要对船舶机电系统故障问题进行分析研究，并提出有效处理措施。

半导体和医药行业对于洁净室的要求非常严格，机电系统在洁净室中扮演着重要角色。本文从洁净室机电系统的质量控制实践入手，分析了关键因素，提出了完善的质量控制措施。首先从洁净室环境与机电系统的相互关系出发，探讨了机电系统对洁净室质量的影响。其次，针对典型的机电系统，分析了其质量控制的重点和方法。最后给出了洁净室机电系统全面质量控制的实践建议。本文对提高半导体和医药制造业洁净室质量具有重要的理论和实践意义。