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封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响 下载：15 浏览：421

焦静静1 石云波1 赵永祺1 张婕1 米振国1 康强2 《传感器研究》 2020年5期

摘要:
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验,验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度,有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力,提高传感器的灵敏度的结论。
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