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MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述 下载：78 浏览：425

周超 李得天 周晖 张凯锋 曹生珠 《新材料》 2019年5期

摘要:
MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装，从最大程度地减少残余气体，且真空封装水平的高低决定了器件的性能优劣甚至决定器件能否正常工作。常规的MEMS器件封装是在真空腔内放置块体吸气剂，占空间且容易产生微小颗粒污染。在器件的真空腔室内镀上吸气剂薄膜，吸气剂薄膜在器件高温键合的同时被激活，就可在后期维持真空腔内的真空度。非蒸散型吸气剂薄膜激活后在室温下即具有优异的吸气性能，应用于MEMS器件真空封装可以提高器件的寿命和可靠性。目前，提高非蒸散型吸气剂薄膜的吸气性能，降低其激活温度是国内外研究的焦点。本文简要介绍了非蒸散型吸气剂薄膜的吸气原理，从膜系材料和制备技术两方面分析了国内外研究现状。在膜材料方面，目前采用ⅣB族+ⅤB族组合的三元合金作为非蒸散型吸气剂薄膜的膜系材料。另外，在材料中掺入Fe、稀土元素等进行薄膜结构的修饰也是较常用的手段。值得指出的是，TiZrV合金薄膜是兼具较好的吸气性能和最低激活温度的非蒸散型吸气剂(NEG)薄膜。在制备技术方面，MEMS器件用非蒸散型吸气剂薄膜一般采用磁控溅射镀膜，磁控溅射镀膜工艺的关键是制备出柱状的纳米晶结构，该结构存在大量的晶界，可促进原子的扩散，降低激活温度。磁控溅射镀膜工艺的研究围绕靶材选择、基片温度、溅射电压、溅射气氛等。探索综合性能更优的新型材料体系和增大薄膜的比表面积仍然是目前非蒸散型吸气剂薄膜研究的关键。本文最后对非蒸散型吸气剂薄膜的研究趋势进行了展望，指出加入调节层的双层膜的激活性能和吸气性能优于单层膜，但调控机理有待明确，今后可以在TiZrV薄膜研究的基础上进一步进行双层薄膜的研究，也可横向拓展进行新型薄膜体系，如ZrCoRE等新型合金薄膜的研究。

高导热金刚石/铜复合材料界面修饰研究进展 下载：88 浏览：471

张晓宇1，2 许旻1 曹生珠1，2 《新材料》 2018年9期

摘要:
界面结合良好的金刚石/铜复合材料具有优异的热物理性能。通过各种手段修饰金刚石-铜界面能够充分发挥金刚石/铜复合材料的高导热潜力。综述了制备金刚石/铜复合材料时主要的两类界面修饰方法:金刚石表面预镀碳化物形成元素和对铜基体预合金化，并对这两类修饰手段的制备工艺和导热机制进行了简单评述。探讨了金刚石/铜复合材料制备及界面修饰领域目前存在的问题及发展趋势。

离子推力器推力密度特性 下载：52 浏览：338

龙建飞 张天平 杨威 孙明明 贾艳辉 刘明正 《现代物理学报》 2018年12期

摘要:
离子推力器推力密度分布对航天器轨道维持和修正具有重要影响.采用粒子模拟-蒙特卡罗碰撞方法模拟束流等离子体输运过程，分析束流多组分粒子喷出数量和速度等微观参数，并计算得到单孔束流推力，结合放电室出口等离子体密度分布，进一步对推力密度分布特性分析，最后开展实验验证.研究结果显示:束流中单价离子、双荷离子以及交换电荷离子的推力贡献比分别为84.63%，15.35%和1.82%，可见推力主要来源于束流中的单价离子和双荷离子，交换电荷离子对推力贡献很小；推力密度分布具有较好的中心轴对称性，从推力器中心沿着径向先快速下降后趋于缓慢；与实验结果对比，经验模型相对误差约为4.1%，数值模型相对误差约为2.8%，相比经验模型，数值模型具有更好的准确性.研究结果可为离子推力器推力密度分布均匀性等优化提供参考.

小型绕线功率电感磁芯材料及其表面金属化工艺研究现状 下载：84 浏览：487

崔骏1 蔡畅1 黄裕坤1 李洪2 林松盛2 《材料科学研究》 2019年3期

摘要:
小型绕线功率电感的主要结构包括磁芯和线圈.目前市场上主要使用镍锌材料和合金材料作为磁芯的主要材料,合金材料作为近年新开发的材料,在各方面性能上有明显的优势.随着合金材料技术的逐渐完善,合金材料将逐渐取代镍锌材料.电极金属化是小型绕线功率电感制作工艺中的重要环节,本文介绍了目前市场上主流的两种电极金属化工艺,比较了其膜系结构以及工艺流程的差异,其中真空镀工艺比电镀工艺在薄膜综合性能及环保要求上具有一定的优势,是未来主流磁芯电极表面金属化工艺.

绕线片式电感表面金属化研究进展 下载：86 浏览：495

李洪1 林松盛1 石倩1 韦春贝1 崔骏2 蔡畅2 黄裕坤2 《材料科学研究》 2019年1期

摘要:
：随着信息通信技术快速发展,绕线片式电感在3C电子行业、智能装备、航空航天、汽车能源等领域的市场需求量迅速增长,同时朝着小型化方向发展.金属化作为绕线片式电感制造过程中关键工序,其质量直接影响到电感的性能.本文针对绕线片式电感表面金属化这一关键工艺过程,介绍了国内外的相关研究进展,为绕线片式电感持续发展提供一定的信息支撑.

炼钢分厂VD/VOD-60T钢包精炼炉真空系统总体设计 下载：153 浏览：2049

韩冰 《冶金技术》 2022年12期

摘要:
炼钢分厂精练车间精练生产线VD/VOD-60T钢包精练炉是其在产品升级项目中重要的设备。VD/VOD-60T钢包精练炉包括真空系统、精炼设备、控制设备、冷却水系统、液压系统等。

计算机技术在机械设计制造及其自动化中的应用研究 下载：287 浏览：2715

王慧 韩晓 《软件工程研究》 2021年3期

摘要:
近年来，经济快速发展，计算机技术发展迅速，计算机自诞生之时就被赋予了诸多的期待与使命。这主要是因为计算机在数学、化学以及物理等的学科有着广泛的应用。本文立足于机械设计制造及其自动化中使用计算机技术概述，具体结合当前的时代背景，对计算机技术在机械设计制造及其自动化中的应用进行简述，将其中的要点进行归纳，当前具有明显的优势技术为应用仿真技术、应用计算机辅助技术，本文对上述的优势技术进行一一论述。

企业营运资金管理研究探讨 下载：74 浏览：744

牛自新 《中国电气工程》 2024年6期

摘要:
营运资金是企业管理工作中的重要资源，若企业的营运资金管理不当，将给企业的发展带来不利影响。在新常态的背景下，企业要在激烈的市场竞争中获得发展，就需要改进企业的各项管理环节。如果企业的营业资金管理不当，将导致企业的发展受阻。当前很多企业在发展过程中营运资金管理的问题阻碍了企业的生存和发展。导致企业在管理过程中存在一定风险。本文结合国内的形势环境，针对我国企业经济发展的现状提出了企业营运资金管理中存在的问题，并回答了相应的改善对策。
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