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国际半导体企业新的诉讼手段,评VEECO对AMEC的供应商SGL的诉讼案 下载：90 浏览：489

顾文军 《电路系统研究》 2018年2期

摘要:
2017年11月2日,美国纽约东区地方法院对中微半导体AMEC的托盘供应商SGL做出初步禁令,禁止SGL给中微半导体提供MOCVD系统的所需要的晶圆承载器部件。这项禁令实际上就卡死了中微半导体关键产品的关键部件的来源。这将导致中微MOCVD设备无法出售。而目前中微的多家核心客户将因缺少此耗材——基片托盘而被迫停产。
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