基于1990-2017年行业面板数据，采用超越对数生产函数对服务业各细分行业TFP增长率进行分解和测度，揭示我国服务业内部结构生产率演化进程及其异质性现象，并采用可导性对数方差分解法、VAR协整模型和误差修正模型(VECM)考察TFP及其构成部分对服务业行业发展差距的贡献度，评估其异质性作用于行业发展差距的长短期效应。研究发现，在服务业内部结构演化过程中，TFP、技术进步和技术效率改进呈逐步下降趋势，其中技术进步是推动TFP增长的核心，规模效率改进发展水平一直滞后，配置效率改进在服务业发展初期较为滞后，但水平逐步提升；生产性和生活性服务业行业间TFP及构成部分异质性在演化过程中呈下降趋势，且生活性服务业行业间异质性程度要小于生产性服务业，行业间异质性变化幅度最大的是规模效率改进，技术效率改进异质性波动程度最小；TFP异质性是造成行业间发展差距扩大的主要原因，其中技术效率改进是主导因素，且该效应的发挥只有在长期具有显著性。