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基于微纳压印的柔性PDMS薄膜传感器设计 下载：15 浏览：405

高孔超 黄尧 吴大鸣 范晓静 苏逢春 许红 《传感器研究》 2020年7期

摘要:
利用性能优异的PDMS薄膜制备的新型柔性传感器柔性好、重复度高,可适应复杂曲面,其应用前景也十分广阔。采用PDMS薄膜为柔性基底,填充导电材料碳纤维制备传感元件,使用微纳压印的方法制备V槽形微结构把灵敏度提高到3.5 kPa-1;并总结出柔性PDMS薄膜传感器的制备方案,为柔性PDMS传感器的制备提供参考;最后按照实验设计对PDMS薄膜传感器的性能等方面开展了系统的研究。
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