大型精密工业设备的变形检测具有目标尺寸大、精度要求高、绝对定位难等特点,使得常规单一的检测方法难以满足要求。因此,通过对已有测量方法的改进与组合,研究出一种高效率且高精度的大型精密工业设备变形量检测方法。使用工业摄影测量系统、激光跟踪仪、高精度全站仪相结合的技术,通过自主研发的相机辅助拍摄伸缩杆,在不同姿态与温度条件下可以对目标设备进行全面快速的数据采集,进而解算出重力差异与温度差异导致的变形量。考虑到摄影测量成果是局部独立坐标系,缺乏与国家大地坐标系的关联,将激光跟踪仪建立的局部重力水平坐标系作为过渡,实现了摄影测量坐标系到CGCS2000国家大地坐标系的高精度转换方法。实验证明,该方法具备数据采集容易、检测精度可靠、坐标能够统一等优点,对大型精密工业设备制造与检测技术提升具有重要意义。