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等离子体发生器制备纳米微粒

​何蓉

北京山川联合纳米科技有限公司，北京密云，101500

摘要: 介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
关键词: 化学气相法；等离子体发生器；温度；形态；
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