基于石墨烯场效应晶体管的光电混频器研究
顾晓文1,2 吴云1,2 曹正义1,2 王琛全1,2
1.微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室;2.中国电子科技集团公司第五十五研究所
摘要: 研究了基于石墨烯场效应晶体管(GFET)的光电混频器(Optoelectronic Mixer,OEM)。器件采用叉指电极结构,增大了器件的光吸收效率,并避免了顶栅结构栅金属对光的反射作用。采用基于7.62 cm硅基GFET的圆片工艺,实现了栅长为1μm共8指的器件制备。测试结果表明,器件的工作频率达到20 GHz。在20 GHz工作频率下,器件光探测响应度达到2.8 mA/W,光载20 GHz射频变换到1 GHz中频的混频效率为-15.87 dB。
关键词:
石墨烯场效应晶体管;光电混频器;叉指电极;混频效率;
石墨烯场效应晶体管;光电混频器;叉指电极;混频效率